การประยุกต์ใช้การตกผลึกของเตาเผาแบบอบเร็ว RTP ในการควบคุมแอนไอโซทรอปิกของฟิล์มเหล็กการ์เนต

Jan 05, 2024

ฝากข้อความ

แร่เหล็กหายาก (REIGs) เป็นแร่ธาตุชนิดหนึ่งที่อุดมไปด้วยธาตุหายาก เนื่องจากมีคุณสมบัติทางกายภาพและเคมีเฉพาะตัว แสดงให้เห็นถึงศักยภาพในการนำไปประยุกต์ใช้ในด้านสปินทรอนิกส์และอิเล็กตรอนแม่เหล็ก กลไกของคลื่นสปินที่รวดเร็ว ความเร็วของผนังโดเมนที่สูง และคุณสมบัติการหน่วงต่ำถึงปานกลาง ทำให้มีประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยมในอุปกรณ์ไมโครเวฟและการสื่อสารความถี่สูง [1] ในขณะเดียวกัน แร่เหล็กหายากยังมีคุณสมบัติทางแม่เหล็กที่ดี ทำให้เป็นตัวเลือกที่เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการจัดเก็บข้อมูลและเซ็นเซอร์แม่เหล็ก ในสาขาอิเล็กทรอนิกส์ การสื่อสาร เลเซอร์ และการจัดเก็บข้อมูล อย่างไรก็ตาม การปรับแอนไอโซทรอปิกที่เหนี่ยวนำด้วยแรงดันไฟฟ้าบนฟิล์มแร่เหล็กหายากที่ปลูกบนพื้นผิวเพียโซอิเล็กทริกยังไม่ได้รับการพิสูจน์

 

ปัจจุบัน Miela J. Gross[2] ใช้เทคโนโลยีการสปัตเตอร์แมกนีตรอนในการเตรียมการเคลือบ SiO2 ขนาด 5 นาโนเมตรบนพื้นผิว Si (001) หรือ PMN-PT (011) จากนั้นจึงทำการเคลือบเป้าหมาย DyIG และ YIG ร่วมกันสำเร็จโดยใช้เทคโนโลยีการเคลือบด้วยเลเซอร์แบบพัลส์ (PLD) เพื่อเตรียมฟิล์ม YDyIG หนา 42 นาโนเมตร การให้ความร้อนอย่างรวดเร็ว (RTP) เป็นเวลา 5 นาทีในบรรยากาศ O2 750 องศาถูกดำเนินการเพื่อส่งเสริมการตกผลึกของฟิล์ม จึงช่วยปรับปรุงลำดับและประสิทธิภาพของโครงสร้างการ์เนต